¢ÒºÒȼö¼Ò(Hydrogen fluoride) - ÇÑ°æ °æÁ¦¿ë¾î»çÀü(³×À̹ö Áö½Ä¹é°ú)
ºÒ»êÇ÷ç¿À¸£È¼ö¼Ò. µ¶¼ºÀÌ °ÇÑ ºÎ½Ä¼º ±âü·Î¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ Áß È¸·ÎÀÇ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â ¿þÀÌÆÛÀÇ ½Ä°¢(etching)°ú ¼¼Á¤(cleaning)°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¼ÒÀç´Ù. Àϸí "¿¡Äª°¡½º"·Îµµ ºÒ¸®´Â °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â, ½ºÅÚ¶ó ¸ð¸®Å¸ µî ÀϺ» ¾÷ü°¡ ¼¼°è ¼ö¿äÀÇ 90% ÀÌ»óÀ» »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù. ºÒȼö¼Ò¸¦ »ý»êÇÏ°í °ü¸®ÇÑ ¿ª»ç°¡ 100³â ÀÌ»óÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нºµµ ÇÊ¿ä·®ÀÇ ´ëºÎºÐÀ» ÀϺ»¿¡¼ ¼öÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¼Öºê·¹ÀÎ µî ±¹³» ¾÷üµµ ºÒȼö¼Ò¸¦ »ý»êÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ Àú¼øµµ ºÒȼö¼Ò¸¸ ¸¸µé°Å³ª ÀϺ»»ê Àú¼øµµ ºÒȼö¼Ò¸¦ ¼öÀÔÇØ ¼øµµ¸¦ ³ô¿© ÆǸÅÇÏ´Â 2Â÷ °øÁ¤À» ¸Ã°í ÀÖ´Ù.
8ÀÏ ñéäçìíÜà <"ºÒȼö¼Ò, 99.99%´Â ¸ô¶óµµ 99.999%´Â ÀϺ»¼³ª ±¸ÇÑ´Ù">´Â Á¦¸ñÀÇ ÑÀÞÀ¿¡´Â ÀÌ·± ³»¿ëÀÌ ³ª¿Â´Ù.
¡¦¾à ÇÑ ´Þ °¡·® Àç°í°¡ ³²¾ÆÀÖ´Â ºÒȼö¼Ò(HF¡¤¿¡Äª °¡½º)ÀÇ °æ¿ì, ÃÖ±Ù ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °ø±Þó È®º¸¸¦ À§ÇØ Å¸ÀÌ¿Ï¡¤Áß±¹¿¡ ±¸¸Å´ã´ç ÀÓÁ÷¿øÀ» ±ÞÈ÷ º¸³Â´Ù. ºÒȼö¼Ò´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤ Áß È¸·ÎÀÇ ¸ð¾ç´ë·Î ±ð¾Æ³»´Â ¿¡Äª(½Ä°¢) °øÁ¤¿¡ ¾²ÀδÙ. »ï¼ºÀüÀÚ³ª SKÇÏÀ̴нº°¡ '¾²¸® ³ªÀÎ(99.9%)'À̳ª 'Æ÷³ªÀÎ(99.99%)'±ÞÀº È®º¸ÇÏ´õ¶óµµ 'ÆÄÀÌºê ³ªÀÎ'(99.999%) ±ÞÀÇ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò´Â ´ëºÎºÐ ÀϺ»ÀÌ °ø±ÞÇÑ´Ù. 1¾ïºÐÀÇ 1(³ª³ë) ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼± °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò¸¦ ½á¾ß ¼öÀ²(»ý»ê·® ´ëºñ °áÇÔ ¾ø´Â Á¦Ç° ºñÀ²)ÀÌ ³ô¾ÆÁö°í, Á¦Ç° Ç°Áúµµ ´ãº¸ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ³·Àº ¼øµµÀÇ ºÒȼö¼Ò´Â ¶óÀÎ °¡µ¿¿¡µµ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ´Ù¡¦
¿ª½Ã 8ÀÏ ñéäçìíÜà <´Ù±ÞÇÑ ÀÌÀç¿ë, ìí µ¿ºÐ¼ÁÖ¡¦ºÒȼö¼Ò °ø±Þ¼±ºÎÅÍ Ã£¾Ò´Ù>´Â Á¦¸ñÀÇ ÑÀÞÀ¿¡´Â ÀÌ·¸°Ô ³ª¿Â´Ù.
¡¦¿¡Äª°¡½º´Â µ¶¼ºÀÌ ÀÖ¾î ¿À·£ ½Ã°£ º¸°üÀÌ ¾î·Á¿î ±î´ß¿¡ 'Àû½Ã°ø±Þ'ÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¿äû°ú ´Þ¸® ½ºÅÚ¶ó´Â ÇöÀç ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ÃÖÁ¾ ½ÂÀÎÀÌ ¶³¾îÁ®¾ß ´ë¸¸(½ºÅÚ¶ó ÇØ¿Ü»ý»ê¹ýÀÎ) µîÁö¿¡¼ Çѱ¹¿¡ ¿¡Äª°¡½º¸¦ ¼öÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ÀÔÀåÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼ºÀÌ ¿¡Äª°¡½º¸¦ ºñ·ÔÇÑ Àü·« ¹°ÀÚ ¼öÃâ Çã°¡±ÇÀ» Áã°í Àֱ⠶§¹®¿¡ À̸¦ °í·ÁÇÑ Á¶Ä¡·Î º¸Àδ١¦
8ÀÏ ÔÔä¬ìíÜà <»ï¼º-SK "ºÒȼö¼Ò Àç°í ÃÖ¾ÇÀÇ »óȲ"¡¦¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú ¿¬±¸°³¹ßµµ Áß´ÜµÉ À§±â>¶ó´Â ÑÀÞÀ¿¡´Â ÀÌ·± ºÎºÐÀÌ ³ª¿Â´Ù.
¡¦"ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º) µî ÀϺ»ÀÇ ¼ÒÀç °ø±Þ Áß´ÜÀÌ Àå±âÈµÇ¸é ¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀÌ ¸ØÃç¼´Â °Íµµ ¹®Á¦Áö¸¸ ¿¬±¸°³¹ß(R&D)ÀÌ ÁߴܵŠ¼¼°è 1À§ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú·ÂÀÌ °æÀï±¹¿¡ µû¶óÀâÈú ¿©Áö¸¦ ÁÖ°Ô µÈ´Ù." Àç°è °ü°èÀÚ¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нºÀÇ °íÀ§±Þ Àλ簡 4ÀÏ ±¹È¸¿¡¼ ´õºÒ¾î¹ÎÁÖ´ç ÀÌÀοµ ¿ø³»´ëÇ¥¸¦ ºñ°ø°³ ¸é´ãÇÏ°í ÀÌ°°ÀÌ È£¼ÒÇÑ °ÍÀ¸·Î È®ÀεƴÙ. ¿©´ç °íÀ§ °ü°èÀÚ´Â "ÃÖ¾ÇÀÇ »óȲÀ̶ó´Â Ç¥ÇöÀÌ ³ª¿Ô´Ù"¸ç "ºÒȼö¼Ò ºÎÁ·À¸·Î R&D°¡ Áß´ÜµÇ¸é ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß»Ó ¾Æ´Ï¶ó ´ë¸¸ ¾÷ü¿Í Ä¡¿ÇÑ °æÀïÀ» ÆîÄ¡°í ÀÖ´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß °æÀï·Â¿¡ ¹®Á¦°¡ »ý±æ ¼ö ÀÖ´Ù°í Çß´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ºÒȼö¼Ò´Â ºÒ¼ø¹°À» ¾Ä¾î³»´Â ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. 700¿© °³ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ºÒȼö¼Ò¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â °øÁ¤¸¸ 50°³ ÀÌ»óÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ºÒȼö¼Ò´Â ¹ÝµµÃ¼»Ó ¾Æ´Ï¶ó ½Å¼ÒÀç °ü·Ã ¿¬±¸ °úÁ¤¿¡µµ ÇʼöÀû ¼ÒÀç´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº´Â ÀϺ»ÀÇ °æÁ¦ º¸º¹ ¼±¾ð Á÷ÈÄ ÀϺ»¿¡ ±¸¸ÅÆÀÀ» ±ÞÆÄÇØ ½ºÅÚ¶óÈÇÐ, ¸ð¸®Å¸ÈÇÐ µî ÇöÁö ¾÷ü¸¦ ã¾Æ °ø±ÞÀ» ¿äûÇßÁö¸¸ Ãß°¡ Àç°íÈ®º¸¿¡ ¾î·Á¿òÀ» °Þ¾ú´Ù¡¦
ì¤ß¾ÀÇ ÑÀÞÀµé¿¡ µû¸£¸é, ´çÀå ùÛÏÐÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü(»ï¼º, SK)¿¡°Ô Àý½ÇÇÑ °ÍÀº ÆÄÀÌºê ³ªÀÎ(99.999%) ÐäÀÇ ÍÔ¼øµµ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º)´Ù. »ç½Ç»ó ìíÜâ ¾÷ü èâ¿¡´Â »ý»êÀ» ¸øÇÑ´Ù. ±ÞÈ÷ ìíÜâÀ¸·Î Á÷Á¢ ¶Ù¾î°¥ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø¾ú´ø ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀÇ Àý¹ÚÇÔÀÌ ¿©±â¿¡ ÀÖ¾ú´Ù.
±×·±µ¥ Á» ÀÌ»óÇÑ Á¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ìíÜâ Á¤ºÎ ÀÚ·á¿¡ µû¸£¸é, ±Ý³â 1¿ùºÎÅÍ 4¿ù±îÁö ìíÜâ ¾÷üµéÀÌ »ý»êÇÑ ÍÔ¼øµµ ºÒȼö¼Ò(¿¡Äª°¡½º)ÀÇ ¹«·Á 85% ÀÌ»óÀ» ùÛÏÐÀÌ °¡Á®°£ °ÍÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù. ìíÜâ ¾÷üµéÀÌ ÍÔ¼øµµ ºÒȼö¼Ò ¼¼°è ½ÃÀåÀ» Àå¾ÇÇÑ »óÅÂÀ̹ǷÎ, »ç½Ç»ó ÀÌ ±â°£ µ¿¾È Áö±¸»ó¿¡¼ »ý»êµÈ ÍÔ¼øµµ ºÒȼö¼Ò¸¦ ùÛÏÐÀÌ '½Ï½½ÀÌ'Çß´Ù´Â À̾߱â´Ù. ¸Þ¸ð¸® ¹× Þª¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß¸¦ ÀüºÎ ÇÕÄ£ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼ ùÛÏÐ ¹ÝµµÃ¼°¡ Â÷ÁöÇÏ´Â ºñÁßÀº 25% ¼öÁØÀÌ´Ù. À̸¦ °¨¾ÈÇϸé ÍÔ¼øµµ ºÒȼö¼ÒÀÇ '½Ï½½ÀÌ'´Â ´Ù¼Ò ÀÌÇØ°¡ ¾È °¡´Â ºÎºÐÀÌ´Ù. ´õ¿í ÀÌÇØ ¾È °¡´Â °ÍÀº, íþÑ¢ º¸°ü ¾î·Á¿î Á¡À» °¨¾ÈÇصµ ÀÌ·¸°Ô ½Ï¾µÀ̸¦ ÇßÀ¸¸é¼µµ Á¦°í°¡ ºÒ°ú ¾ó¸¶¹Û¿¡ ¾ø´Â »óÅ°¡ µÇ¾î, »ï¼ºÀÇ ÃѼö°¡ ÀÏ¿äÀÏ¿¡ Á÷Á¢ ìíÜâ ÇöÁö·Î ´Þ·Á°¥ ¸¸Å Àý¹ÚÇÑ »óȲ¿¡ ºüÁ³´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù.
»ó½ÄÀûÀ¸·Î ½Ï¾µÀ̸¦ ÇØ¿ÔÀ¸¸é, ¸î ³âÀº ¸ô¶óµµ Àû¾îµµ ¸î ´ÞÂëÀº ³Ë³ËÈ÷ ¹öÆ¿ ¼ö ÀÖ¾î¾ß ÇÏ´Â °Í ¾Æ´Ñ°¡? ±×·±µ¥ Áö±ÝÀº ÇÑ ´Þµµ ¸ø¹öƼ´Â »óȲÀ¸·Î Á¢¾îµç °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ±×·¸´Ù¸é, ±× ¸¹´ø ¿¡Äª°¡½º(ÍÔ¼øµµ ºÒȼö¼Ò)´Â ¾îµð °¬³ª?
8ÀÏ ðÈàØìíÜà <ìí "Çѱ¹ ¸ø ¹Ï°Ú´Ù"¡¦"Àü·«¹°ÀÚ ÝÁ À¯Ãâ ¼³¸í ¸øÇÏ¸é ¼öÃâ±ÔÁ¦ È®´ë">¶ó´Â ÑÀÞÀ¿¡´Â ½Ç¸í ´ñ±ÛµéÀÌ ´Þ·È´Âµ¥, ±× Áß ÀÌ·± °ÍÀÌ ÀÖ¾ú´Ù.
°û»ó¿î(gsw****) 2019.07.08. 13:20:42
<ºÒȼö¼Ò´Â °í³óÃà ¿ì¶ó´½À» ¸¸µå´Â °¡½ºÁ¤Á¦¹ýÀÇ Áß¿ä Àç·á·Î »ç¿ëµÈ´Ù. ºÒȼö¼Ò°¡ ºÏÁ¶¼±¿¡ °ø±ÞµÇ¾ú´Ù¸é Çѱ¹Àº ¹°·ÐÀÌ°í ¼¼»óÀ» Áö¿ÁÀ¸·Î ¸¸µå´Â ¿ì¶ó´½ ÇÙÆøźÀ» ¸¸µå´Â ÁÖ¿ä ¼ÒÀ縦 ³Ñ°Ü ÁØ °ÍÀÌ´Ù. ÁÖ»çÆÄ Á¤±ÇÀÌ ±¹¹ÎÀ» ¹è½ÅÇÑ ¹Ý¿ªÁúÀ» ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.>
ìíÜâ Á¤ºÎ´Â, ùÛÏÐÀÌ ´ë·®À¸·Î °¡Á®°£ ¿¡Äª°¡½ºÀÇ ±¸Ã¼Àû ¿ëó¸¦ Ùþî¤ìÙ Á¤±ÇÀÌ ¹àÈ÷Áö ¸øÇϸé, Ãß°¡ Á¦Àç¿¡ ³ª¼³ ¼öµµ ÀÖ´Ù´Â Á¡À» ºÐ¸íÈ÷ Çß´Ù. Ùþî¤ìÙ Á¤±ÇÀÇ ±×¸©µÈ Çà½Ç(ÝÁùÛ èâ¿¡´Â ¹«°ü½É) ¶§¹®¿¡, ±× µ¿¾È ùÛÏÐ ±â¾÷ÀεéÀÌ ¾î·Æ°Ô ½×¾Æ¿Ã¸° ¼ÒÁßÇÑ °Íµé(»ê¾÷°æÀï·Â µî)ÀÌ ÇÑ ¼ø°£¿¡ ¹«³ÊÁ®³»¸± À§±â¿¡ óÇß´Ù. ÅëÀç´Ù.